アニール炉

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  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

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  6. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  5. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
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