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  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター　日本レーザー電子　NL-OPC60N

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジョン　UV-312

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック – STPH-102M

  7. オートグラフ（精密万能試験機）島津製作所　AGS-X, 10N – 10kN

  8. ドラフトチャンバー　ヤマト科学　MS-70

  9. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  10. イオンスパッタ装置　日立ハイテク　E-1045

  11. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  12. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  13. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JEOL)　JFC-1300

  14. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  15. ロータリーポンプ・アルバック・D-950DK・M210108A26

    ロータリーポンプ　アルバック製　D-950DK

  16. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  17. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本電子製（JOEL）JFC-1600

  18. 中真空用バキュームゲージ　岡野製作所　AVG134C11

  19. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ　M-923HG

  20. 電離真空計　イオンゲージ　アルバック　GI-TL3

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