mirai
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies EnerStream20
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ウルトラミクロ電子天秤 メトラートレド XP2U
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インキュベーター(LOW TEMP) EYELA LTI-1200E
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インキュベーター(LOW TEMP) 東京理化器械 LTI-1001SD
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-35/NT-35/65N
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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レーザー変位計 キーエンス LK-G3000/LK-G30
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真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島津製作所 IP-400A
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真空蒸着装置 アルバック VPC-410
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周波数カウンタ アドバンテスト TR5823
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DIGTAL ELECTROMETER ADVANTEST R8240
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デジタルマルチメーター アドバンテスト R6551
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パルスジェネレーター 岩崎通信機 – Iwtsu PG-230
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3100
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203B-002