mirai

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL – 日本電子　IB-09020CP

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. コーティング装置　SONO-TEK　DES3000

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　SX-UI501MQQ/BA-M500

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  9. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  11. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  12. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  13. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESANⅡ AS2PD-5

  14. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  15. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　MF-90S-C

  16. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  17. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  18. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  19. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  20. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

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