バラトロン真空計　MKS　627D-28780

バラトロン真空ゲージ　キャパシタンスマノメータ　
メーカー：MKS（ファイファー）　型式：627D-28780
Range：13.332Pa

バラトロン真空計（キャパシタンス・マノメータ）は、金属ダイアフラム（膜）の変形を静電容量の変化として検出し、ガス種に依存せず高精度に絶対圧を測定する真空計です。半導体エッチング装置などの高温・腐食性ガス環境で、圧力を直接測定する用途で広く使われています。読み値の0.05〜0.25%の高精度で、超高真空から粗引き真空まで対応。気体の種類（ヘリウム、窒素など）に関係なく真の全圧を測定可能。腐食性ガスに耐え、最大150℃〜200℃のヒーター加熱に対応します。半導体製造装置、液晶・有機EL装置、エッチング、CVD（化学気相成長）、スパッタリング工程における真空度管理。

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キーワード（メーカー）：アネルバ・日本電子・インフィコン・アルバック・HORIBA・島津製作所・INFICON
キーワード（品名）：スパッタ装置・エッチング装置・CVD装置・バラトロン真空ゲージ・キャパシタンスマノメーター・真空応用装置

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