キャパシタンスマノメーター

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  1. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  3. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
2026年10月
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