リンサードライヤー VERSATILE ST270

スピンドライヤーとは、半導体ウェハー・電子部品・精密機械の部品などの洗浄後に使用される、高速回転による乾燥装置です。遠心力を利用して水滴を効率的に飛ばし、熱風やイオンエアとの組み合わせで短時間かつ均一な乾燥を実現します。洗浄後の水分を残さず除去することで、微粒子や水跡の発生を防ぎ、製品の品質を向上させる役割を担います。半導体や電子部品の製造工程において欠かせない存在で、液晶パネル製造工程でも使われ、ワーク(基板など)を高速回転させ、遠心力と気流(純水リンスも併用)で表面の水分や洗浄液を効率的かつクリーンに乾燥させる機械です。洗浄後の基板にダメージを与えず、短時間で均質に乾燥させられるのが特徴で、手作業では難しい精密な乾燥を実現します。 

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キーワード(メーカー)アクティブ・ミカサ・インターテック・S-TECH・コクサン・テクノファイン・ダイキン
キーワード(品名)スピンドライヤー・半導体ウェハ・洗浄・リンス・乾燥・ガラス基板・液晶パネル・ラビング装置

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