スピンドライヤー

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年11月
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