本機は、真空環境はあらゆる潤滑油から隔離され完全にドライな状況を維持。調整式ガスバラストの採用で従来のスクロールポンプでは実現できなかった水蒸気の処理が可能で、よりクリーンな真空が得られたドライスクロールポンプです。
在庫状況,販売価格,詳細写真・仕様などはこちらからお問い合わせください。
メールによるお問い合わせはこちらから。
http://pump.product-i.net
キーワード（メーカー）：アルバック・アネルバ・ファイファー・大阪真空・荏原製作所・樫山工業・アンレット
キーワード（品名）：ドライポンプ・ダイアフラムポンプ・ターボ分子ポンプ・イオンポンプ・クライオポンプ
定温恒温槽（防爆仕様）ヤマト科学 DKN812-[M240104…
スカラロボット（4軸）ヤマハ製 YK600XG
冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製 RKS15…
チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
AOI基板外観検査装置 inspec製（インスペック）SX10…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KC-01B …
冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…
プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製 5081-[M23041…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
DC電源 菊水電子製 型式：PAD16-1000LET （M210303…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式：VS-16…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
