株式会社未来産業技術研究所

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メーカー：ulvac アルバック製　型式：VD301

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REVOLUTION：1500/1800rpm (50/60Hz)　　
DISPLACEMENT：30/36㎥/h (50/60Hz)　　　
MOTOR POWER：1.5kW　

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キーワード（メーカー）アルバック・アネルバ・ファイファー・大阪真空・荏原・樫山・大亜真空・アルカテル・島津

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ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP121-[M220930A11]

ダイアフラム式真空ポンプ　アルバック製　DA-241SE-[M220528A19]

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