2026年 5月
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高度加速寿命試験装置(HAST装置)エスペック EHS-411MD
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RO純水製造装置 東洋紡エンジニアリング TRO-60A
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超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
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イオンスパッタ装置 日立製 E-1030
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
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ターボ分子ポンプ ファイファー THM262/TC100
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ロータリーエバポレーター EYELA N-1100 付属機器一式
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真空凍結乾燥機 日本フリーザー BFD-6F2
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RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 10kW
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低温恒温槽 エスペック製 MC-711T
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イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG
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サーモカップル真空計 アネルバ MTG-012
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液晶重ね合わせ装置 中央精機 LCM-ST
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-151/EI-151G(コントローラー/接続ケーブル セット品)
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露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM
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ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
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チラー 冷却水循環装置 アズワン LCT-450A
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エリプソメーター GAERTNER L115 D