2026年 5月

  1. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  2. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESANⅡ AS2PD-5

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　MF-90S-C

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  11. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  12. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA-1610

  13. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  14. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  15. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  16. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  17. ダイサー　ディスコ　DAD522

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