2026年 5月
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バラトロン真空計 MKS 627D-28780
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プラズマクリーナー サムコ PC-300
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卓上型クリーンブース アズワン ピュアスペースPS01-A
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パルスユニット アルバック A2KH-25
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四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200
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ターボ分子ポンプ LEYBOLD MAG2000/MAG.DRIVE 2000(コントローラー/接続ケーブル セット品)
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ターボ分子ポンプ 大阪真空 TG1003VW/TC1003(コントローラー/接続ケーブル セット品)
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ターボ分子ポンプ LEYBOLD TURBOVAC 361 (コントローラー/接続ケーブル セット品)
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本電子製(JOEL)JFC-1600
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL – 日本電子 IB-09020CP
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RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
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コーティング装置 SONO-TEK DES3000
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プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N
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真空オーブン ヤマト科学 ADP200
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検査用光源ユニット ウシオ電機 Optical Modulex SX-UI501MQQ/BA-M500
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ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300
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マッチングコントローラー AS-TECH RC-11
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電気マッフル炉 島津製作所 MP-15
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連続式リフロー炉 グローバル AFD-101A
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ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40