株式会社未来産業技術研究所
メーカー:TESLONG 型式:
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP