メーカー：大阪真空 型式：TG220FVAB PUMPING UNITメインポンプ（ターボ分子ポンプ）・補助ポンプ（油回転真空ポンプ）・バルブ配管・電気系などの必要機器をコンパクトに収納した、小型の高真空排気装置です。
真空排気装置、真空排気システム、真空排気ユニット、真空排気セットともいう。
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キーワード（メーカー）真空デバイス・大阪真空・佐藤真空・VISTA・アネルバ・アルバック・プロダクトアイ
キーワード（品名）真空蒸着・CVD装置・スパッタ装置・半導体ウェハー・半導体チップ・プリント基板
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AOI基板外観検査装置 inspec製（インスペック）SX10…
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スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
