メーカー：大阪真空 型式：TG220FVAB PUMPING UNITメインポンプ（ターボ分子ポンプ）・補助ポンプ（油回転真空ポンプ）・バルブ配管・電気系などの必要機器をコンパクトに収納した、小型の高真空排気装置です。
真空排気装置、真空排気システム、真空排気ユニット、真空排気セットともいう。
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キーワード（メーカー）真空デバイス・大阪真空・佐藤真空・VISTA・アネルバ・アルバック・プロダクトアイ
キーワード（品名）真空蒸着・CVD装置・スパッタ装置・半導体ウェハー・半導体チップ・プリント基板
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6軸ロボットアーム ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
クリーンベンチ 日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KM-33 …
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
