メーカー：アルバック 型式：VPC-410
ガラスベルジャータイプ（φ300mm×高さ300mm）
到達圧力：4.0×10-3（1.3×10-3）
基板推奨サイズ：□50mm・□140mm(Max)
パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
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キーワード（メーカー）：真空デバイス・オプトラン・JEOL・STS・アネルバ・昭和真空・ALS・ASKSEMIX
キーワード（品名）：薄膜形成・半導体ウェハー・半導体チップ・エッチング装置・プラズマCVD・アッシング・スパッタ装置
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