メーカー：サンユー電子 型式：SC-701AT
チャンバーサイズ：内径φ120mm×D120mm(SUS 製)
カソード：φ2 インチ/2 極対向電極
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キーワード（メーカー）真空デバイス・サンユー電子・日本電子・STS・アネルバ・アルバック・プロダクトアイ
キーワード（品名）半導体ウェハー・半導体チップ・プリント基板・SEM・Au・Al・COB装置・スパッタ装置
