6軸ロボットアーム ファナック製（FANUC）LR Mate 200…
メーカー：ファナック（FANUC） 型式：LR Mate 200iD/7L未来産業技研では産業用ロボットのSDG'…
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産業ロボット
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半導体製造装置全般、電子デバイス製造装置全般
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真空コンポーネント
真空部品、ゲートバルブ、スパッタ電源、各種真空ゲージ
環境試験機・乾燥機オーブン
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理化学機器・光学機器
ドラフトチャンバー、遠心機、チラー、電子天秤
検査機・分析機器
各種顕微鏡、分析装置、形状測定装置、外観検査装置
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ユーティリティ設備
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ガスクロマトグラフ 日立サイエンス G-6000
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イオンスパッタ装置 JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M220930A02]
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酸アルカリドラフトチャンバ オリエンタル技研
型式：AFG-ST-1200HC （M190326A13） -
DC電源 菊水電子製 型式：PAD16-1000LET （M210303A05）
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質量ガス分析計 インフィコン製
型式：TSPTT200 （M200714A35) -
油回転式真空ポンプ アルカテル 2015SD
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000／LK-H050
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スクロールポンプ アルバック製
型式：DIS-501 -
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING UNIT-[M210701A02]
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ボルトメーター 菊水電子製
型式：TOS8650 （M181122A33） -
ターボ分子ポンプコントローラー（TURBOVAC MAG）
Leybold Vacuum 型式：MAG.DRIVE S -
電気炉-マッフル炉 ヤマダ電機 Y-2025-P[M240904A11]
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バイオクリーンベンチ ESCO製 型式：BCB-3E7 -[M221216a02]
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オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JEOL) JFC-1300
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電子天秤 ザリトリウス – SARTORIUS MSE324S-000-DU
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ドラフトチャンバー アズワン製
型式：CD-700PW