イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製 E-1020-[M221221…
メーカー：日立 型式：E-10202 極対向電極とターゲットの両用をそれぞれ独立したチャンバーで…
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ウェハーローダー ニコン顕微鏡
型式NWL-641 (M210114A12) -
超音波洗浄器 ブランソン 2510J-DTH
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恒温恒湿槽 エスペック製 PSI-2FP-[M220607A41]
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター 日本レーザー電子 NL-OPC60N
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安全キャビネット 日立製 SCV-803EC2A -[M220619A01]
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パスボックス クリーンルーム用
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冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製 CA-3100
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Drain Camera System（配管カメラシステム）
Dart Systems -
レーザービーム装置 Spectra-Physics製
型式：Mai-Tai （M200404A04） -
双腕スカラロボット-協働ロボット 川崎重工 duAro
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ターボ分子ポンプ／コントローラー／接続ケーブル【セット品】ライボルト TURBO VAC 151
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3Ｄプリンター Stratasys uPrint SE Plus
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真空蒸着装置・日本電子（JEOL）・JEE-450D
（M201126A02） -
デジタルマイクロスコープ キーエンス製
型式：VHX-100F (M210108A17) -
電離真空計（イオンゲージ）アネルバ製
型式：M-832HG （M210108A37） -
真空デシケーター 日本電子製（JEOL）
型式：EM-DSC10E （M191213A05）