AFM – 原子間力顕微鏡 SII（現；日立ハイテクサイ…
AFM - 原子間力顕微鏡 - Atomic Force Microscopeメーカー：SII(現・日立ハイテクサイエンス) …
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恒温槽 ナガノサイエンス製 CH43-15P-[M220314A72]
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X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – [M241128A01]
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実体顕微鏡 オリンパス-Olympus SZ90
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エアーサンプラー（エアーダストサンプラー） メルク製 MS-100 -[M190228A05]
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デジタルマイクロスコープ キーエンス-KEYENCE VH-5000
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低温恒温槽 エスペック製 MC-710T-[M230531A02]
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高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック – STPH-102M
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-10
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膜厚コントローラー（Deposition Controller）
インフィコン製 型式：IC/5 （M210108A20） -
ターボ分子ポンプ ファイファー製（PFEIFFER）
型式：TMU261 -
電気炉-マッフル炉 ヤマダ電機 Y-2025-P[M240904A11]
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コーティング機 ANDA製 型式：iCoat-X3 -[M230325A04]
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エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
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ドライポンプ EBARA（荏原製）A07V – [M220408A08]
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冷熱衝撃試験機 エスペック製
型式：TSA-301L-W （M210330A01） -
プラズマ処理装置 神港精機 POEM