スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
スクロールポンプ・アルバック・DIS-251
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保護膜コーティング装置 PIC製
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ディスペンサーロボット（ペースト塗布装置）武蔵エンジニアリング SHOTmini 200DS
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電離真空計（イオンゲージ）ulvacアルバック製 GI-M-[M220117A05]
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表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定） レイテックス製 YIS-SP
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恒温恒湿器 東京理化機械製（EYELA）
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パーティクルカウンター リオン製 KC-52 -[M23025A02]