RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-…
RF電源 プラズマ電源 スパッタ電源メーカー：MKS/ENI 型式：ELITE-300300W 13.56MHz高周波…
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ディスペンサーコントローラー 武蔵エンジニアリング製
型式：MS-10 (M200919A07) -
周波数カウンタ アドバンテスト TR5823
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スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H – [M221028A01]
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プラズマCVD装置 サムコ製
型式：PD-220 （M210320A10） -
恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC LU-114
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace 300/TC110
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チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製
クールライン 型式：CLH610 -
冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製 RKED9000A-V – [M240516A02]
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双腕スカラロボット-協働ロボット 川崎重工 duAro
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ガスクロマトグラフ 日立サイエンス G-6000
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恒温槽 エタック製（楠本製）TL-N001L-[M230309A02]
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ヘリウムリークディテクター 島津製作所 MSE-3200R-[M211218A01]
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電気マッフル炉 ヤマト科学製 FO200-[M180906A03]
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ウルトラミクロ電子天秤 メトラートレド XP2U
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空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械）
CA-1115 A -
6軸ロボットアーム ファナック製（FANUC）LR Mate 200iD/7L [M230906A01]