AFM – 原子間力顕微鏡 SII（現；日立ハイテクサイ…
AFM - 原子間力顕微鏡 - Atomic Force Microscopeメーカー：SII(現・日立ハイテクサイエンス) …
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真空部品、ゲートバルブ、スパッタ電源、各種真空ゲージ
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各種顕微鏡、分析装置、形状測定装置、外観検査装置
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ビデオボアスコープ（ワイヤレス検査カメラ）
EXTECH製 型式：BR250 -
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 – [M211206A03]
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ターボ分子ポンプ 大阪真空 TG220FCAB-[M241210A10]
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スパッタ装置（マグネトロンスパッタ）日本電子製
型式：JUC-5000 （M190810A05） -
スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
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真空ゲートバルブ アルバック製（ulvac）VUGP-40
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RF電源 アルバック RFS-005
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モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
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チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製
クールライン 型式：CLH610 -
ロータリーポンプ エドワーズ E2M28
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真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島津製作所 IP-400A
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電離真空計 イオンゲージ アルバック GI-TL3
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ウェハーシートリング加工機 SMHP機工製 型式D-668-[M230410A03]
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微量卓上遠心機 トミー精工製 MV-100-[M220318A01]
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ターボ分子ポンプ 島津製
型式：TMP280 （M200714A15） -
クイックコーター サンユー電子製 SC-701-[M240310A06]