インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステム EVN-51…
メーカー：エンジニアリングシステム 型式：EVN-5150HP真空UV式インプリント装置「微細転写装…
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産業ロボット
ロボットアーム、スカラロボット、直行ロボット、搬送ロボット
半導体製造装置
半導体製造装置全般、電子デバイス製造装置全般
真空装置
真空蒸着装置、スパッタ装置、エッチング装置、CVD装置
真空ポンプ
ロータリーポンプ、ターボ分子ポンプ、ドライポンプ、スクロールポンプ
真空コンポーネント
真空部品、ゲートバルブ、スパッタ電源、各種真空ゲージ
環境試験機・乾燥機オーブン
恒温槽、インキュベーター、恒温恒湿槽、電気炉
理化学機器・光学機器
ドラフトチャンバー、遠心機、チラー、電子天秤
検査機・分析機器
各種顕微鏡、分析装置、形状測定装置、外観検査装置
クリーン環境機器
クリーンベンチ、エアーシャワー、パーティクルカウンター、FFU
ユーティリティ設備
コンプレッサー、冷却水製造装置、各種工場設備
電気計測器・電気部品
オシロスコープ、スペアナ、電子負荷装置、耐圧試験機
純水製造装置・洗浄機
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真空蒸着装置 アルバック製
型式：VPC-410A （M200312A02） -
電子天秤 ザリトリウス – SARTORIUS MSE324S-000-DU
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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フリップチップボンダー 東レエンジニアリング製
型式：FC3000 （M201031A01） -
X線分析装置 SII SEA2120L-[M230512A07]
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スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-50
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電気炉（マッフル炉）ヤマト科学製 FO410-[M230118A01]
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実体顕微鏡 カールツァイス Stemi2000-CS
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スピンコーター ミカサ製 MS-A100-[M230703A01]
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膜厚コントローラー（Deposition Controller）
インフィコン製 型式：IC/5 （M210108A20） -
プレス機 ミカドテクノス製 MKP-5000D-[M231120A24]
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スパッタ装置（マグネトロンスパッタ）日本電子製
型式：JUC-5000 （M190810A05） -
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本電子製（JOEL）JFC-1600
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アングルバルブ ulvacアルバック製 型式 VULH40-[M210617A38]
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ロータリーポンプ ライボルト製
型式：D16B （M200714A05）