粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA LA-30…
粒子径分布測定装置 粒度分布計 メーカー：堀場製作所（HORIBA）型式：LA-300粒子径分布測定…
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クリーンベンチ（気流垂直型）日立製
型式：PVC-1301AE （M210108A10） -
電離真空計（イオンゲージ）アネルバ製
型式：M-832HG （M210108A37） -
超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
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高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製
型式：PAN600-2A （M201222A01） -
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製 PLA-600F -[M221028A02]
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真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）
型式：JEE-400 -
膜厚コントローラー アルバック CRTM-6000-[M240906A19]
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DC電源 – スパッタ電源 アルバック – ulvac DCR1502A
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ピラニー真空ゲージ アルバック製 GP-2A-[M220117A04]
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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高周波発振器（RFプラズマ発振器） モリエンジニアリング製 型式：SFA300EX-[M210617A11]
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真空ゲートバルブ アルバック製（ulvac）VUGP-40
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恒温恒湿槽 エスペック製
型式：PR-2KT （M201217A10） -
マニュアルワイヤーボンダー K＆S製
型式：4124 （M210320A14） -
インキュベーター パナソニック MIR-154