イオンスパッタ装置 日立製
型式：E-1010 (M20112…
イオンコーター・日立・E-1010
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耐電圧試験機 菊水電子工業製
型式：TOS8700 (M210114A11) -
パーツフィーダー ダイシン製
型式：D-15KFW-03 -
ロータリーポンプ エドワーズ E2M28
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恒温槽 ナガノサイエンス製 CH43-15P-[M220314A72]
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高速冷却遠心機 SAKUMA製 M201-IVD-[M240209A13]
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エアーコンプレッサー（スクロールコンプレッサー）
コベルコ 型式：ES15AD-5 II （M210126A01） -
防爆オーブン エタック製（ETAC/楠本）HT-220S-[M230531A05]
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
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電離真空計（イオンゲージ）アネルバ製
型式：M-832HG （M210108A37） -
冷熱衝撃試験機 エスペック製
型式：TSA-301L-W （M210330A01） -
電気炉（マッフル炉）ヤマト科学製 FO410-[M230118A01]
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ヘリウムコンプレッサー（クライオコンプレッサー） アルバック C30V [M210108A21]
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パルスジェネレーター 岩崎通信機 – Iwtsu PG-230
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ローラーラビング装置 プレマテック製 RMO1-1
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冷却水循環装置（空冷チラー）柴田科学 C-580