ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIF…
メーカー：ライボルト 型式：SOGEVAC SV40-65 BIFC 到達圧力：0.05mbar 真空速度：40㎥/h・48…
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振動計 PCE Instruments製 PCE-VT 2700-「M210929A22」
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Drain Camera System（配管カメラシステム）
Dart Systems -
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
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チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UNISTAT 910W-[M230531A08]
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恒温恒湿槽 エタック製 TH411A-[M221014A01]
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恒温恒湿器 エスペック LH-113 – [M241127A02]
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YAGレーザーシステム Litron製 Nano-L 200-20-[M230314A11]
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ターボ分子ポンプ ファイファー製
型式：TMH521P （M200707A04） -
コンプレッサー（オイルフリースクリュー圧縮機）
日立産機システム 型式；DSP-37VW -
ドラフトチャンバー アズワン製
型式：CD-700PW -
膜厚コントローラー（Deposition Controller）ライボルト（インフィコン）XTC/2-[M210108A19]
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撹拌・脱泡機 キーエンス HM-500
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フリップチップボンダー 東レエンジニアリング製
型式：FC3000 （M201031A01） -
ウエハー剥離装置 SemiconductorEquipmento製
型番：4800 （M190211A02） -
安全キャビネット 日立製 SCV-803EC2A -[M220619A01]
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エアーシャワー オリエンタル技研 CSA-100A-[M231212A08]