真空蒸着／スパッタ共用装置 サンユー電子製
型式：SVC-72…
メーカー：サンユー電子 型式：SVC-720 …
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電子電圧計（雑音電圧測定器）ナショナル製
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膜厚コントローラー アルバック CRTM-6000-[M240906A19]
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デジタルマルチメーター アドバンテスト R6551
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YVO4レーザマーカー キーエンス-KEYENCE MD-V9600
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ダイソーター（チップ移載装置） アクテス京三製 型式：ACT-1000 （M201031A02）