ドライエッチング装置 ナノテック製
型式：NCP-400 （M…
ナノテック社のドライエッチング装置です。
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真空蒸着装置 アルバック VPC-410
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ドライスクロールポンプ アジレントテクノロジー IDP-3
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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VUV真空キュア装置（真空紫外光硬化装置）TOSKYトスキー製 型式：UVR-200
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ベーンレス真空ポンプ/オイルフリーブロワー オリオン機械 KCE190A-01
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マグネトロン真空ゲージ エドワーズ AIM-XL-NW25
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ターボ分子ポンプ ファイファー製
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スクリーン印刷機 ミナミ製
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