冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製 RKS1500F-VW-…
メーカー：オリオン機械 型式：RKS1500F-VW冷却能力：4.30kW/4.65kW冷却能力：4300W/4650W(50/…
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真空ゲートバルブ アルバック製（ulvac）VUGP-40
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スクロールポンプ エドワーズ ESDP12-[M240604A06]
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ヘリウムコンプレッサー（クライオコンプレッサー） アルバック C30V [M210108A21]
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真空グローブボックス 高杉製作所 G-85-MV [M240801A01]
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精密ろ過装置 AMADA製 CF100 – [M190226A02]
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恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
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水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-7000
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レーザー装置-YAGレーザー Spectra Physics Millennia Vs-[M230622A01]
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真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島津製作所 IP-400A
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ドライエッチング装置 ナノテック製
型式：NCP-400 （M210108A04） -
プラズマ処理装置（親水化処理装置）JEOL製（日本電子）HDT-400 [M221221A07]
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RF電源（プラズマ電源）アステック製
型式：ARF-1053 （M210320A06） -
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – [M241128A01]
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ビデオボアスコープ（ワイヤレス検査カメラ）
EXTECH製 型式：BR250 -
RF電源 ダイヘン DRFS-5SA
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X線回折装置 リガク製
型式：RINT-Ultima3 （M200623A01）