エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
メーカー：SHIMADZU（島津製作所） 型式：EDX-720XRFシステム・元素分析装置・X線検査装置・元…
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リフロー炉（リフローはんだ付け装置）日本パルス製 RF-630 -[M220308A07]
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プラズマクリーナー サムコ PC-300
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高周波発振器（RFプラズマ発振器） モリエンジニアリング製 型式：SFA300EX-[M210617A11]
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電子天秤 ザリトリウス – SARTORIUS MSE324S-000-DU
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デジタルリンクアナライザー ANDO製（安藤）
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プレッシャークッカー エスペック製
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ウェハーマウンター 日東電工 M286N
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ピラニー真空計 アルバック製 IS02-[M240200A03]
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ヘリウムリークディテクター アネルバ製（アルカテル）ASM110 TURBO CL-[M211130A06]
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インキュベーター（LOW TEMP） 東京理化器械 LTI-1001SD
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ウェハーローダー ニコン顕微鏡
型式NWL-641 (M210114A12)