ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製 5081 – […
メーカー：ALCATELアルカテル 型式：5081フランジ形状：（吸気側）ICF104 （排気側）NW25※コ…
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コンプレッサー（オイルフリースクリュー圧縮機）
日立産機システム 型式；DSP-37VW -
スクロールポンプ エドワーズ製（Edwards）
型式：DS35i -
レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス製 VK-8510 -[M230314A12]
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恒温槽 ナガノサイエンス製 CH43-15P-[M220314A72]
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RF電源（プラズマ電源）アステック製
型式：ARF-1053 （M210320A06） -
カーブトレーザー テクトロニクス製 576-[M210617A15]
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イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A10]
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パーティクルカウンター リオン製
型式：KM-33 （M200917A01） -
RF電源（EB電源） 日本電子製（JEOL）
型式：JRF-750 （M210108A28） -
ロータリーポンプ ライボルト製
型式：D16B （M200714A05） -
冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械 RKED2200A-VW
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クライオコンプレッサー 鈴木商館製
型式：C300K （M201116A01） -
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製 RKE-150000A-V [M240629A02]
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酸アルカリドラフトチャンバ オリエンタル技研
型式：AFG-ST-1200HC （M190326A13） -
マニュアルワイヤーボンダー K＆S製
型式：4124 （M210320A14）