スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター 日本レー…
オスミウム・プラズマコーター 導電性薄膜作製装置メーカー：日本レーザー電子型式：NL-OPC60N…
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電力増幅器（Power Amplifier）横河電機製
型式：705810 （M201103A01） -
ドライポンプ 樫山製 NeoDry-36C-[M220718A01]]
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マッチングボックス 日本電子製（JEOL）
型式：EH-MN01A （M210108A29） -
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定子・接続ケーブル 一式
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高速冷却遠心機 SAKUMA製 M201-IVD-[M240209A13]
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アングルバルブ VAT製 型式26328-KA01-[M230411A03]
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ターボ分子ポンプ ファイファー製
型式：TMH521P （M200707A04） -
分光エリプソメーター 大塚電子
型式：FE-5000 （M210108A07） -
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-50
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ドライエッチング装置 ナノテック製
型式：NCP-400 （M210108A04） -
ドラフトチャンバー ダルトン製
型式：DFV-12DK-12AAT -
ロータリーエバポレーター
EYELA製（東京理化機械）型式：N-1200B -
CO2インキュベーター サンヨー製 MCO-96-[M230718A07]
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液体窒素自動供給装置（窒素精製装置）JEOL製（日本電子）NS-200-[M221220A12]
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クリーンベンチ 日立産機システム製 CCV-800E -[M22619A02]
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CO2インキュベーター サーモフィッシャー製
型式：370 （M190326A13）