冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製 RKS1500F-VW-…
メーカー：オリオン機械 型式：RKS1500F-VW冷却能力：4.30kW/4.65kW冷却能力：4300W/4650W(50/…
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マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製 PLA-600F -[M221028A02]
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超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
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セラミック電気管状炉 アサヒ理化 ARF-30K / AMF-N
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電離真空計 イオンゲージ アルバック GI-TL3
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電子電圧計 ケンウッド製
型式：VT185 (M201103A04) -
内視鏡カメラ（ボアスコープ）Watson製
型式：EC1000 -
ドライポンプ 樫山製 NeoDry-36C-[M220718A01]]
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コンプレッサー（オイルフリー）アネスト岩田製
SLP-37EBD-S5 [M221201A03] -
多関節産業ロボット（6軸）デンソー製 型式：VP-6556-GM-B-CN
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クライオコンプレッサー 鈴木商館製
型式：C300K （M201116A01） -
ピーリングテスター（剥離強度試験器）
日本ガータ製 型式：NPT-100 （M210303A04） -
恒温槽 エタック製（楠本製）TL-N001L-[M230309A02]
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ターボ分子ポンプ排気システム ファイファー TSH071
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コンプレッサー（オイルフリースクリュー圧縮機）
日立産機システム 型式；DSP-37VW -
冷却水循環装置（空冷インバーターチラー）EYELA製（東京理化器械）CAE-2000S
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 SC-701