ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1…
ドライポンプ 真空ポンプメーカー：樫山工業（KASHIYAMA）型式：SDE1203B-002排気速度：20,000…
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真空部品、ゲートバルブ、スパッタ電源、各種真空ゲージ
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高圧蒸気滅菌器（オートクレーブ） アルプ製
型式：CLS-32L -
光学定盤（防振台）日本防振工業製
型式：RB-1513CS -
オートファインコーター 日本電子製（JEOL）
型式：JFC-1300 -
ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製 5081 – [M230411A01]
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ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製 型式SPB-DB668
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安全キャビネット 日立製 SCV-803EC2A -[M220619A01]
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カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS602
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スピンコーター ミカサ製
型式：1H-D2 （M210408A02） -
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290／TC110
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Thickness Monitor 日本電子製（JOEL）
型式：FC-TM10 -
X線回折装置 リガク製
型式：RINT-Ultima3 （M200623A01） -
表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定） レイテックス製 YIS-SP
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プラズマ処理装置（親水化処理装置）JEOL製（日本電子）HDT-400 [M221221A07]
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203B-002
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]