冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製 CA-3110 ̵…
メーカー：EYELA 東京理化器械 型式：CA-3110空冷式チラー - 冷却水循環装置冷却能力（at液温…
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真空部品、ゲートバルブ、スパッタ電源、各種真空ゲージ
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ロータリーポンプ アルバック機工 GHD-031A
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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ターボ分子ポンプ 大阪真空製
型式：TG800FVWB （M210108A27） -
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-35/NT-35/65N
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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定温恒温槽（防爆仕様）ナガノサイエンス CH33-13P-[M240104A10]
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X線分析装置 SII SEA2120L-[M230512A07]
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電離真空計（イオンゲージ）アネルバ製
型式：M-832HG （M210108A37） -
ディスペンサーコントローラー 武蔵エンジニアリング製
型式：MS-10 (M200919A07) -
イオンスパッタ装置 真空デバイス製 MSP-1S-[M221221A05]
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VUV真空キュア装置（真空紫外光硬化装置）TOSKYトスキー製 型式：UVR-200
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レーザービーム装置 Spectra-Physics製
型式：Mai-Tai （M200404A04） -
双腕スカラロボット-協働ロボット 川崎重工 duAro
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超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230531A07]
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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ターボ分子ポンプ ファイファー製（PFEIFFER）
型式：TMU521