スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター 日本レー…
オスミウム・プラズマコーター 導電性薄膜作製装置メーカー：日本レーザー電子型式：NL-OPC60N…
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恒温恒湿器 エスペック LH-113 – [M241127A02]
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液体窒素自動供給装置（窒素精製装置）JEOL製（日本電子）NS-200-[M221220A12]
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ドライポンプ／メカブポンプ 樫山製／アルバック製
型式：SD60V II／PMB001CM （M210114A16） -
真空グローブボックス 高杉製作所 G-85-MV [M240801A01]
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ヘリウムリークディテクター ファイファー製
型式：HLT570 （M210416A01） -
LCRメーター HP製 型式：4261A
（M210320A15） -
イオンスパッタ装置 JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M220930A02]
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非常用発電装置 東洋電機製造
型式：YT-15CG -
真空オーブン（真空乾燥機） ヤマト科学製
型式：DP63 （M210224A01） -
RF電源（EB電源） 日本電子製（JEOL）
型式：JRF-750 （M210108A28） -
プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製-[M240517A03]
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-50
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサイテック製
型式：VMB-1200P-M（M190922A07） -
表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定） レイテックス製 YIS-SP
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パーティクルカウンター リオン製
型式；KS-93 （M200702A02） -
実体顕微鏡 ニコン-Nikon C-PS