冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械 RKED2200A-VW
メーカー：オリオン機械 ORION 型式：RKED2200A-VW水冷式チラー ／冷却水循環装置冷却能力：9…
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真空オーブン（真空乾燥機） ヤマト科学製
型式：DP63 （M210224A01） -
スピンコーター アクティブ製
型式：ACT-400AS （M201105A02） -
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
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ヘリウムリークディテクター アルバック製
型式：DLMS-TP3E （M200714A02） -
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 SC-701-AT
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ピーリングテスター（剥離強度試験器）
日本ガータ製 型式：NPT-100 （M210303A04） -
超音波洗浄器 アズワン US2KS – [M231116A04]
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膜厚測定装置 SPM（走査型プローブ顕微鏡）
SII製 型式：SPA-500/SPI 3800N M200305A03 -
真空ゲートバルブ アルバック製（ulvac）VUGP-40
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII（現；日立ハイテクサイエンス） SPA-550Le-Type2
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周波数カウンタ アドバンテスト TR5823
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恒温恒湿槽 エスペック製 PSI-2FP-[M220607A41]
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スパッタ電源 – DC電源 アルバック DCS0202A
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デジタルリンクアナライザー ANDO製（安藤）
型式：AE1421 （M210114A05） -
中真空用バキュームゲージ 岡野製作所 AVG134C11
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]