6軸ロボットアーム ファナック製（FANUC）LR Mate 200…
メーカー：ファナック（FANUC） 型式：LR Mate 200iD/7L未来産業技研では産業用ロボットのSDG'…
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高周波発振器（RFプラズマ発振器） モリエンジニアリング製 型式：SFA300EX-[M210617A11]
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING UNIT-[M210701A02]
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エアーシャワー オリエンタル技研 CSA-100A-[M231212A08]
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M230214A06]
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ドラフトチャンバー アズワン製
型式：CD-700PW -
コンプレッサー（オイルフリースクリュー圧縮機）
日立産機システム 型式；DSP-37VW -
クイックコーター サンユー電子製
型式：SC-701C （M201126A04） -
プログラム交流電源 NF回路設計 ES10000S
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イオンスパッタ装置 日立製
型式：E-1030（M220408A04） -
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-35/NT-35/65N
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表面性試験機 HEIDON TYPE:14FW
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へパフィルター（クリーンユニット）日本無機製
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垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ VS050A3-AV6-NNN
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ベーンレス真空ポンプ/オイルフリーブロワー オリオン機械 KCE190A-01
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RF電源 ダイヘン DRFS-5SA