オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ ES2ADⅢ-5
コンプレッサー オイルフリー スクロール 圧縮空気供給装置メーカー：コベルコ型式：ES2ADⅢ-…
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防振台・ヘルツ工業・HRAS-1510LA
（M210108A14） -
実体顕微鏡 カールツァイス Stemi2000-CS
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冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製 CA-3100
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-35/NT-35/65N
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真空蒸着装置 アルバック製
型式：VPC-410A （M200312A02） -
表面研磨装置 BUEHLER MetaServ3000 (95-2900)
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インパルスノイズ試験器 ノイズ研究所-NoiseKen INS-4040
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低温恒温槽 タバイエスペック LU-112T
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デジタル内視鏡（ハンドヘルド産業用ボアスコープ）
TESLONG製 型式：NTS300 -
電子天秤 ザリトリウス – SARTORIUS MSE324S-000-DU
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インキュベーター（LOW TEMP） 東京理化器械 LTI-1001SD
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ナノプローバー PACIFIC NANOTECHNOLOGY Nano-R AFM-[M240906A26]
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オプティカルマルチメーター ANDO製（安藤）
型式：AQ2140 （M210320A03） -
膜厚コントローラー アルバック CRTM-6000-[M240906A19]
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プラズマリアクター（プラズマ処理装置）ヤマト科学 PR510
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ウェハーローダー ニコン顕微鏡
型式NWL-641 (M210114A12)