ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
ターボ分子ポンプ【セット品】本体／コントローラー／接続ケーブルメーカー：島津製作所 型式…
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卓上クリーンベンチ 湯山製作所製 YS-BA-702 -[M230502A01]
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パーツフィーダー ダイシン製
型式：D-15KFW-03 -
パーティクルカウンター ベックマン HHPC 2+
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Thickness Monitor 日本電子製（JOEL）
型式：FC-TM10 -
安全キャビネット 日立製 SVC1908ECⅡA2 -[M230601A03]
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X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – [M241128A01]
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恒温槽 アドバンテック DRM320DA
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真空蒸着装置・日本電子（JEOL）・JEE-450D
（M201126A02） -
ヘリウムリークディテクター ファイファー製
型式：HLT570 （M210416A01） -
スクロールポンプ アルバック製
型式：DIS-500 -
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
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ディスペンサーコントローラー 武蔵エンジニアリング製
型式：MS-10DX (M200919A09) -
パルスジェネレーター 岩崎通信機 – Iwtsu PG-230
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イオンスパッタ装置 日本電子製（JEOL）
型式：JFC-1100E （M190926A05） -
膜厚測定装置 SPM（走査型プローブ顕微鏡）
SII製 型式：SPA-500/SPI 3800N M200305A03 -
ナノインプリント装置 三井電気精機製 TM-NP04-2型 -[M221226A01]