6軸ロボットアーム ファナック製（FANUC）LR Mate 200…
メーカー：ファナック（FANUC） 型式：LR Mate 200iD/7L未来産業技研では産業用ロボットのSDG'…
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産業ロボット
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半導体製造装置
半導体製造装置全般、電子デバイス製造装置全般
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真空蒸着装置、スパッタ装置、エッチング装置、CVD装置
真空ポンプ
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真空コンポーネント
真空部品、ゲートバルブ、スパッタ電源、各種真空ゲージ
環境試験機・乾燥機オーブン
恒温槽、インキュベーター、恒温恒湿槽、電気炉
理化学機器・光学機器
ドラフトチャンバー、遠心機、チラー、電子天秤
検査機・分析機器
各種顕微鏡、分析装置、形状測定装置、外観検査装置
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クリーンベンチ、エアーシャワー、パーティクルカウンター、FFU
ユーティリティ設備
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電気計測器・電気部品
オシロスコープ、スペアナ、電子負荷装置、耐圧試験機
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 SC-708-[M230302A01]
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X線回折装置 リガク製
型式：RINT-Ultima3 （M200623A01） -
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
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光学定盤-防振台 明立精機 AYN-1007K4-[M240904A04]
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定温恒温槽（防爆仕様）ナガノサイエンス CH33-13P-[M240104A10]
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蛍光分光光度計 日立 F-4500
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製
型式：YP21-T07 (M210108A12) -
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2502-[M230622A05]
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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パスボックス クリーンルーム用
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恒温槽（防爆仕様）ナガノサイエンス製
型式：CH31-12M （M201217A08） -
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ VS050A3-AV6-NNN
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【セット品】ターボ分子ポンプ／コントローラー／接続ケーブル バリアン-Varian 9699001 S009
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真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）
型式：JEE-400 -
プレス機 ミカドテクノス製 MKP-5000D-[M231120A24]
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真空乾燥機 アズワン AVO-310V