6軸ロボットアーム ファナック製（FANUC）LR Mate 200…
メーカー：ファナック（FANUC） 型式：LR Mate 200iD/7L未来産業技研では産業用ロボットのSDG'…
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ディスペンサーロボット（ペースト塗布装置）武蔵エンジニアリング SHOTmini 200DS
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バイオクリーンベンチ ESCO製 型式：BCB-3E7 -[M221216a02]
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ターボ分子ポンプ ファイファー製
型式：TMH521P （M200707A04） -
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies EnerStream20
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ウェーブフォームモニター テクトロニクス製 1730 [M181122A02]
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マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製 PLA-600F -[M221028A02]
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低温恒温槽 エスペック製 MC-710T-[M230531A02]
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ローラーラビング装置 プレマテック製 RMO1-1
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ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS602
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ガスクロマトグラフ 日立サイエンス G-6000
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スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
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ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
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安全キャビネット 日立製 SCV-803EC2A -[M220619A01]
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バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M230911A03]
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モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
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双腕スカラロボット-協働ロボット 川崎重工 duAro