ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M24041…
メーカー：ULVAC アルバック製 型式：LR90排気速度：1860/2100 L/min（50/60Hz）、112/126 ㎥/…
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オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JEOL) JFC-1300
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ドラフトチャンバー ヤマト科学 MS-70
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超純水製造装置 メルクミリポア製
型式：Mill-Q A10 （M190329A01） -
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-35/NT-35/65N
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スクロールポンプ エドワーズ製
型式：ESDP12 （M210114A18） -
低温恒温恒湿槽-安定性試験機 エスペック CSH-132
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恒温槽 ナガノサイエンス製 CH43-15P-[M220314A72]
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DC電源 – スパッタ電源 アルバック – ulvac DCR1502A
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リンサードライヤー VERSATILE ST270
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9N1-S-[M231120A21]
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蛍光分光光度計 日立 F-4500
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イオンスパッタ装置 日立製
型式：E-1010 (M201126A14) -
電離真空計 イオンゲージ アルバック GI-TL3
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ヘリウムリークディテクター アルバック製
型式：DLMS-TP3E （M200714A02） -
電気炉 石塚電機製作所 37825
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光学定盤-防振台 明立精機 AYN-1007K4-[M240904A04]