株式会社未来産業技術研究所
メーカー:テクトロニクス 型式:
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
ウェハーマウンター 日東電工 M286N
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
液晶重ね合わせ装置 中央精機 LCM-ST
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B