スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
AOI基板外観検査装置 inspec製（インスペック）SX10…
真空蒸着／スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製 E-1020-[M22…
レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
高温恒温槽（イナートオーブン） ヤマト科学 DN-43…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
