株式会社未来産業技術研究所
メーカー:テクトロニクス 型式:
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081-[M23041…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
真空蒸着装置 アネルバ EVC-1701
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]