株式会社未来産業技術研究所
メーカー:テクトロニクス 型式:
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
表面性試験機 HEIDON TYPE:14FW
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
真空乾燥機 アズワン AVO-310V
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251