パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KM-33 …
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KC-01B …
スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
