メーカー：日立 型式：E-10202 極対向電極とターゲットの両用をそれぞれ独立したチャンバーで製膜が可能。
スパッタリング装置はごく薄い膜を対象物の表面に均一に作製するスパッタリングを行う装置です。
真空蒸着やイオンプレーティングと同じく物理気相成長法 (PVD法) の一つで、主に半導体や液晶の成膜をはじめとしたさまざまな分野で活用いられています。また、対象物の表面を清浄化する際に用いられることもあります。
在庫状況,販売価格,詳細写真・仕様などはこちらからお問い合わせください。 メールによるお問い合わせはこちらから。
キーワード（メーカー）真空デバイス・サンユー電子・日本電子・STS・アネルバ・アルバック・プロダクトアイ
キーワード（品名）半導体ウェハー・半導体チップ・プリント基板・SEM・電子顕微鏡・COB装置・薄膜
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式：V…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
ターボ分子ポンプ排気システム ファイファー TSH071
ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製 5081-[M23041…
プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
紫外線照射装置（UV照射装置） アイグラフィック製<…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
