カーボンコーター カーボン蒸着
メーカー：日本電子(JEOL)
型式：JEC-530
カーボンコーターは、元素分析用の試料にカーボン蒸着を行う試料作製装置です。本機は蒸着源には高純度の専用カーボン棒を使用しており、不純物の少ない膜が仕上がります。カーボン棒をクリップ状の電極に簡単にセットすることができ試料台の高さを調整することで膜厚を調整できます。
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キーワード（メーカー）真空デバイス・日立・日本電子・アルバック・サンユー電子・プロダクトアイ・アド サイエンス
キーワード（品名）薄膜作成・半導体ウェハ・プリント基板・SEM・CVD装置・COB装置・スパッタ装置・カーボンコーティング
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