1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240310A07]

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS1500F-VW-[M240200A02]

  4. ドライポンプ　樫山製　NeoDry-36C-[M220718A01]]

  5. CO2インキュベーター　サンヨー製　MCO-96-[M230718A07]

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A17]

  7. スピンコーター　ミカサ製　MS-B100-[M240310A09]

  8. クリーンベンチ　昭和科学　S-1300WV-[M240209A01]

  9. X線分析装置　SII　SEA2120L-[M230512A07]

  10. ピラニー真空計　アルバック製　IS02-[M240200A03]

  11. ウェーブフォームモニター　テクトロニクス製　1730 [M181122A02]

  12. 超音波洗浄機　ブランソニック製（ヤマト科学）8510J-DTH [M240209A15]

  13. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械）CA-2600-[M220318A11]

  14. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701
  15. チラー（冷却水循環装置）・EYELA（東京理化機械）・CA-1115

    チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化機械）
    型式：CA-1115 （M200408A04）

  16. 多関節産業ロボット（6軸）三菱電機製　型式RV-12SDC-S300 [M220528A15]

  17. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 200iD/7L [M230906A01]

  18. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）
    型式：JEE-400

  19. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230325A05]

  20. ナノインプリント装置　三井電気精機製　TM-NP04-2型 -[M221226A01]

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