株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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