株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…