株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…