株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530