mirai

  1. 超音波洗浄機（卓上）ブランソン製（ヤマト科学）5510J-MT[M230325A01]

  2. 超純水製造装置　メルクミリポア製　AFS 8D -[M230423A01]

  3. 安全キャビネット　日立製　SCV-803EC2A -[M220619A01]

  4. クリーンベンチ　日立産機システム製　CCV-800E -[M22619A02]

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO製　型式：BCB-3E7 -[M221216a02]

  6. パーティクルカウンター　リオン製　KC-52 -[M23025A02]

  7. ディスペンサーロボット（ペースト塗布装置）武蔵エンジニアリング　SHOTmini 200DS

  8. ディスペンサーロボット（ペースト塗布ロボット）武蔵エンジニアリング製　SHOTMASUTER300DSs

  9. リフロー炉（リフローはんだ付け装置）日本パルス製　RF-630 -[M220308A07]

  10. チップマウンター（表面実装装置）JUKI製　型式：KE-760L -[M220216A02]

  11. スピンドライヤー　コクサン製（国産遠心機）　H-840SA -[M210625A03]

  12. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-600F -[M221028A02]

  13. ダイサー　Discoディスコ製　DFD-2D/8 -[M221028A04]

  14. コーティング機　ANDA製　型式：iCoat-X3 -[M230325A04]

  15. ウェハーシートリング加工機　SMHP機工製　型式D-668-[M230410A03]

  16. 高周波発振器（RFプラズマ発振器）　モリエンジニアリング製　型式：SFA300EX-[M210617A11]

  17. 高圧DC電源　アルバック製（京三）SC-7017SIⅡ-[M210617A31]

  18. 膜厚コントローラー（Deposition Controller）ライボルト（インフィコン）XTC/2-[M210108A19]

  19. アングルバルブ　ulvacアルバック製　型式 VULH40-[M210617A38]

  20. 電離真空計（イオンゲージ）ulvacアルバック製 GI-M-[M220117A05]

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