アクティブインバーテッドマグネトロンゲージ 真空ゲージ 真空計
メーカー：EDWARDS（エドワーズ） 型式：AIM-XL-NW25
圧力測定範囲：1～10－7Pa
逆マグネトロン真空計 冷陰極電離真空計 磁場対応型
インバーテッドマグネトロンゲージ（逆マグネトロン真空計、冷陰極電離真空計）とは、磁界と電界を組み合わせて真空中の気体分子をイオン化し、そのイオン電流を測定することで圧力を測る真空計で、中高真空領域の測定に優れ、消耗品交換やユーザーによる内部清掃が可能な、堅牢で扱いやすい真空計です。特に、電子を外部から放出させる熱陰極型（B-A真空計など）と異なり、加熱が不要な「冷陰極」方式を採用している点が特徴です。 本機は、プロセス制御用の調整可能セットポイントを内蔵しています。電気系統を改良し、高圧時のイオン電流低減を実現している為クリーニング間隔が延長されています。独自のストライカが高圧時または汚染された状態においてもスピーディな始動を補助します。交換式ボディチューブの為、事前校正不要で迅速な交換が可能です。電極サービスキットを用いることで、ユーザーによるクリーニング・保守が可能です。
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キーワード（メーカー）アルバック・エドワーズ・アールデック・インフィコン・INFICON・日本ブッシュ・アジレント
キーワード（品名）真空ゲージ・ピラニーゲージ・ペニングゲージ・コールドカソード・クリスタルゲージ・イオンゲージ
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