マグネトロンゲージ

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. RF電源　RFPP　RF10S

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
2026年7月
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