ulvac
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スクロールポンプ エドワーズ ESDP12-[M240604A06]
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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ドライポンプ 樫山製 NeoDry-36C-[M220718A01]]
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真空ゲートバルブ アルバック製(ulvac)VUGP-40
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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ロータリーポンプ アルバック製
型式:GLD-136A (M201204A04) -
高圧DC電源 アルバック製(京三)SC-7017SIⅡ-[M210617A31]
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アングルバルブ ulvacアルバック製 型式 VULH40-[M210617A38]
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ゲートバルブ HVA製 ICF114 & ICF86 & ICF70
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アングルバルブ VAT製 型式26328-KA01-[M230411A03]
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ゲートバルブ VAT製 ICF114-[M230411A23]