rfpower

  1. RF電源　アルバック　RFS-005

  2. RF電源　ダイヘン　DRFS-5SA

  3. スパッタ電源 – DC電源　アルバック　DCS0202A

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2502-[M230622A05]

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622A04]

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. 高周波発振器（RFプラズマ発振器）　モリエンジニアリング製　型式：SFA300EX-[M210617A11]

  9. 高圧DC電源　アルバック製（京三）SC-7017SIⅡ-[M210617A31]
  10. RF電源

    RF電源（プラズマ電源）アステック製
    型式：ARF-1053 （M210320A06）

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