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1. 

   スパッタ電源 – DC電源　アルバック　DCS0202A

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2. 

   RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

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3. 

   マイクロ波電源　IDX製　IMG-2502-[M230622A05]

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4. 

   マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622A04]

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5. 

   マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

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6. 

   高周波発振器（RFプラズマ発振器）　モリエンジニアリング製　型式：SFA300EX-[M210617A11]

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7. 

   高圧DC電源　アルバック製（京三）SC-7017SIⅡ-[M210617A31]

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8. 

   RF電源（プラズマ電源）アステック製
   型式：ARF-1053 （M210320A06）

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