メーカー：エドワーズ 型式：nXDS10i
排気速度：190(L/min) 到達圧力：0.7(Pa)
本機は、真空環境はあらゆる潤滑油から隔離され完全にドライな状況を維持。調整式ガスバラストの採用で従来のスクロールポンプでは実現できなかった水蒸気の処理が可能で、よりクリーンな真空が得られたドライスクロールポンプです。
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キーワード（メーカー）：アルバック・アネルバ・ファイファー・大阪真空・荏原製作所・樫山工業・アンレット
キーワード（品名）：ドライポンプ・ダイアフラムポンプ・ターボ分子ポンプ・イオンポンプ・クライオポンプ
