本機は、真空環境はあらゆる潤滑油から隔離され完全にドライな状況を維持。調整式ガスバラストの採用で従来のスクロールポンプでは実現できなかった水蒸気の処理が可能で、よりクリーンな真空が得られたドライスクロールポンプです。
在庫状況,販売価格,詳細写真・仕様などはこちらからお問い合わせください。
メールによるお問い合わせはこちらから。
http://pump.product-i.net
キーワード（メーカー）：アルバック・アネルバ・ファイファー・大阪真空・荏原製作所・樫山工業・アンレット
キーワード（品名）：ドライポンプ・ダイアフラムポンプ・ターボ分子ポンプ・イオンポンプ・クライオポンプ
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
真空蒸着／スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII（現；日立ハイテク…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式：NCP-4…
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
プラズマクリーナー ムサシノ電子製（FISCHIONE） …
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000／LK-H050
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
