株式会社未来産業技術研究所
メーカー:横河電機 型式:
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081-[M23041…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
真空乾燥機 アズワン AVO-310V
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000