株式会社未来産業技術研究所
メーカー:横河電機 型式:
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表面性試験機 HEIDON TYPE:14FW
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
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レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
真空乾燥機 アズワン AVO-310V
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250