株式会社未来産業技術研究所
メーカー:横河電機 型式:
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-90…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…