株式会社未来産業技術研究所
メーカー:横河電機 型式:
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…