電力計

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年9月
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