電力計

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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