バレル式高周波低温プラズマでウェハーのレジストに。低温プラズマ、バレル型の定番の装置です。オートマッチング機構の標準装備で操作性・安全性を高めた、コンパクトタイプのバレル型プラズマ処理装置です。フォトレジストの除去、部品の洗浄、界面活性処理、マイクロ研磨、ウェハー、ガラス基板に対応
在庫状況,販売価格,詳細写真・仕様などはこちらからお問い合わせください。
メールによるお問い合わせはこちらから。
https://www.yamato-net.co.jp/product/show/pr510/
ーワード（メーカー）：真空デバイス・オプトラン・JEOL・ALS・アネルバ・昭和真空・神港精機・ASKSEMIX
キーワード（品名）：薄膜形成・半導体ウェハー・エッチング装置・プラズマCVD・フォトレジスト・スパッタ装置
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
ドライポンプ 樫山 NeoDry-30E
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KM-33 …
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製 RKE-1…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
真空蒸着装置 アネルバ EVC-1701
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製（FISCHIONE） …
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
