バレル式高周波低温プラズマでウェハーのレジストに。低温プラズマ、バレル型の定番の装置です。オートマッチング機構の標準装備で操作性・安全性を高めた、コンパクトタイプのバレル型プラズマ処理装置です。フォトレジストの除去、部品の洗浄、界面活性処理、マイクロ研磨、ウェハー、ガラス基板に対応
在庫状況,販売価格,詳細写真・仕様などはこちらからお問い合わせください。
メールによるお問い合わせはこちらから。
https://www.yamato-net.co.jp/product/show/pr510/
ーワード（メーカー）：真空デバイス・オプトラン・JEOL・ALS・アネルバ・昭和真空・神港精機・ASKSEMIX
キーワード（品名）：薄膜形成・半導体ウェハー・エッチング装置・プラズマCVD・フォトレジスト・スパッタ装置
ドライポンプ／メカブポンプ 樫山製／アルバック製<…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式：VS-16…
高温恒温槽（イナートオーブン） ヤマト科学 DN-43…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製（FISCHIONE） …
高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
