メーカー:ヤマト科学 型式:PR510
プラズマリアクター プラズマ処理装置
(マスフローメーター仕様)
バレル式高周波低温プラズマでウェハーのレジストに。低温プラズマ、バレル型の定番の装置です。オートマッチング機構の標準装備で操作性・安全性を高めた、コンパクトタイプのバレル型プラズマ処理装置です。フォトレジストの除去、部品の洗浄、界面活性処理、マイクロ研磨、ウェハー、ガラス基板に対応
在庫状況,販売価格,詳細写真・仕様などはこちらからお問い合わせください。
メールによるお問い合わせはこちらから。
https://www.yamato-net.co.jp/product/show/pr510/
ーワード(メーカー):真空デバイス・オプトラン・JEOL・ALS・アネルバ・昭和真空・神港精機・ASKSEMIX
キーワード(品名):薄膜形成・半導体ウェハー・エッチング装置・プラズマCVD・フォトレジスト・スパッタ装置