株式会社未来産業技術研究所
メーカー:ニコン 型式:
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オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
遠心エバポレーター アズワン CVE-2AS
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
ロータリポンプ エドワーズ E2M40
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E