レーザー顕微鏡 非接触表面検査装置
メーカー：キーエンス KEYENCE
型式：VK-9510
レーザー顕微鏡は、レーザー光を試料に照射し、反射光や蛍光を検出することで、試料の表面形状や内部構造観察・測定する顕微鏡です。共焦点光学系を用いることで、従来の顕微鏡システムよりも高コントラストで、三次元的な観察や測定が可能になります。特定の波長のレーザー光を光源として使用し試料で反射した光は、対物レンズを通って検出器へ導かれます。共焦点光学系では、検出器の前にピンホールを設置し、焦点位置からの光のみを通過させ、散乱光やぼけ成分を除去します。XY方向の走査と、焦点位置の移動（Z方向）を組み合わせることで、三次元的な画像や高さ情報を得ることができます。
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キーワード（メーカー）キーエンス・日立ハイテク・ニコン・エビデント・島津製作所・コニカミノルタ・カールツァイス
キーワード（品名）レーザー変位計・分析装置・電子デバイス・金属顕微鏡・表面検査装置・マイクロスコープ・レーザー光
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