レーザースキャンシステム

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年7月
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