株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日立 型式:
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…