ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械 RKED220…
AOI基板外観検査装置 inspec製（インスペック）SX10…
イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製 E-1020-[M22…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式：NCP-4…
多関節産業ロボット（6軸）ファナック製 型式M-10iA…
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
デジタルリンクアナライザー ANDO製（安藤）<br>型…
真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
