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真空蒸着／スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製 RKED9…
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産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KM-33 …
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
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スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式：VS-16…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
