ドライポンプ／メカブポンプ 樫山製／アルバック製<…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製 5081 –…
高温恒温槽（イナートオーブン） ヤマト科学 DN-43…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製 …
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製 E-1020-[M22…
プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
高温恒温槽（イナートオーブン） ヤマト科学 DN-43…
スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
