株式会社未来産業技術研究所
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-90…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…