株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日立 型式:
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バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03