ツインコーター JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC LU-114
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
AFM – 原子間力顕微鏡 SII（現；日立ハイテク…
ドライポンプ／メカブポンプ 樫山製／アルバック製<…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
プラズマクリーナー ムサシノ電子製（FISCHIONE） …
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
