スパッタ装置

  1. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年7月
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