スパッタ装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年2月
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