スパッタ装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  7. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
2024年9月
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