スパッタ装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年2月
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