イオンコーター
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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スピンドライヤー コクサン製(国産遠心機) H-840…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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