イオンコーター

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  1. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  2. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年7月
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