イオンコーター

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年3月
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