イオンコーター
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
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3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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