株式会社未来産業技術研究所
メーカー:ファイファー(PFEIFFER) 型式:HLT570
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-151/EI-151G(コ…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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RO純水製造装置 東洋紡エンジニアリング TRO-60A
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
プラズマクリーナー サムコ PC-300
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720