株式会社未来産業技術研究所
メーカー:ファイファー(PFEIFFER) 型式:HLT570
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…