株式会社未来産業技術研究所
メーカー:ファイファー(PFEIFFER) 型式:HLT570
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400