株式会社未来産業技術研究所
メーカー:ファイファー(PFEIFFER) 型式:HLT570
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…