株式会社未来産業技術研究所
メーカー:ファイファー(PFEIFFER) 型式:HLT570
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…