株式会社未来産業技術研究所
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
真空乾燥機 アズワン AVO-310V
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…