株式会社未来産業技術研究所
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…