株式会社未来産業技術研究所
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…