株式会社未来産業技術研究所
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
ロータリポンプ エドワーズ E2M40
マッチングコントローラー AS-TECH RC-11
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…