株式会社未来産業技術研究所
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…