FIB装置（集束イオンビーム装置）SII製　型式：SMI9200IW （M200131A01）

FIB装置（集束イオンビーム装置）・SII・SMI9200IW

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集束イオンビーム装置は、きわめて細く集束したイオンビームを試料表面で走査することにより、発生した二次電子などを検出して顕微鏡像を観察したり、試料表面を加工したりすることのできる装置です。

fib, SII

スクロールポンプ　エドワーズ製<br>型式：ESDP12 （M210114A18）

電子線マイクロアナライザー（EPMA）島津製<br>型式：EPMA-1600 （M210325A01）

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