メーカー：荏原製作所／EBARA
型式：EV-A10-3
排気速度：1000L/min 到達圧力：10Pa
ドライポンプは、半導体製造ラインや食品加工ラインなど、さまざまな科学分析装置などです。これらの用途では、利用環境への汚染を避けなければなりません。ドライポンプは排気中にオイルミストなどの混入がないことが最大の特長であることから、クリーンな環境が求められる用途に対しては、ドライポンプが適しています。
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キーワード（メーカー）：アルバック・アネルバ・ファイファー・大阪真空・荏原製作所・樫山工業・佐藤真空
キーワード（品名）：スクロールポンプ・ダイアフラムポンプ・ターボ分子ポンプ・イオンポンプ・クライオポンプ
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