スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

メーカー：アルバック（ulvac）　型式：DIS-251
到達真空度：7~(Pa)　排気速度：250(300)L/min

スクロールポンプの特徴は、完全なオイルフリーであることです。ロータリーポンプと呼ばれる油回転ポンプでは、空気を排出する機構部分の潤滑や冷却、気密性の確保を目的にオイルが使用されていますが、排気中にオイルが蒸発して含まれていることがあります。スクロールポンプは機構部分にオイルを使用していないため、排気中にオイルが含まれることはありません。クリーンな真空環境が得られるため、さまざまな分析機器に使用されています。

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参考：https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/vacuum-pump/scroll-type-vacuum-pump/dis-252.html

キーワード（メーカー）：アルバック・アネルバ・ファイファー・大阪真空・荏原製作所・樫山工業・佐藤真空
キーワード（品名）：スクロールポンプ・ダイアフラムポンプ・ターボ分子ポンプ・イオンポンプ・クライオポンプ

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