株式会社未来産業技術研究所
メーカー:佐藤商事(Lutron) 型式:
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RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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低温恒温槽 エスペック製 MC-711T
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チラー 冷却水循環装置 アズワン LCT-450A
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
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真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
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露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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