株式会社未来産業技術研究所
メーカー:佐藤商事(Lutron) 型式:
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …