株式会社未来産業技術研究所
メーカー:佐藤商事(Lutron) 型式:
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-410
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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