株式会社未来産業技術研究所
メーカー:佐藤商事(Lutron) 型式:
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…