デジタル温湿度計・露天計
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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リアルタイムスペクトラムアナライザ テクトロニク…
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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VOCセンサー 理研計器 VOC-121H
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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