デジタル温湿度計・露天計

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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