高圧DC電源　アルバック製（京三）SC-7017SIⅡ-[M210617A31]

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メーカー：アルバック（京三）　型式：SC-7017SIⅡ

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1000V 15kW
この装置は、半導体製造装置・フラットパネルディスプレイ・ソーラーパネルなどの製造プロセス用直流電源です。
アークレスによるリアクティブスパッタにも対応しており、DC電圧の幅広い範囲で定格電力の供給が可能で、高速アーク遮断機能が不可欠な光学膜(SiO2,TiOx)、耐摩耗膜(SiOx,Al2O3)　及び透明伝導膜(ITO)の成膜に最適です。
RFシステムとのカップリングに対応します。

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キーワード（メーカー）アルバック・シンクロン・京三・エヌエフ回路設計・サンエー電機・高砂製作所・松定プレシジョン
キーワード（品名）スパッタ電源・RF電源・パルス電源・薄膜・真空蒸着・スパッタリング・マッチングボックス