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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240310A07]
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS1500F-VW-[M240200A02]
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ドライポンプ 樫山製 NeoDry-36C-[M220718A01]]
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CO2インキュベーター サンヨー製 MCO-96-[M230718A07]
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A17]
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スピンコーター ミカサ製 MS-B100-[M240310A09]
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クリーンベンチ 昭和科学 S-1300WV-[M240209A01]
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X線分析装置 SII SEA2120L-[M230512A07]
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ピラニー真空計 アルバック製 IS02-[M240200A03]
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ウェーブフォームモニター テクトロニクス製 1730 [M181122A02]
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超音波洗浄機 ブランソニック製(ヤマト科学)8510J-DTH [M240209A15]
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製(東京理化器械)CA-2600-[M220318A11]
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 SC-701
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チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化機械)
型式:CA-1115 (M200408A04) -
多関節産業ロボット(6軸)三菱電機製 型式RV-12SDC-S300 [M220528A15]
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 200iD/7L [M230906A01]
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)
型式:JEE-400 -
イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230325A05]
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ナノインプリント装置 三井電気精機製 TM-NP04-2型 -[M221226A01]
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VUV真空キュア装置(真空紫外光硬化装置)TOSKYトスキー製 型式:UVR-200