1. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240310A07]

  2. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS1500F-VW-[M240200A02]

  3. ドライポンプ 樫山製 NeoDry-36C-[M220718A01]]

  4. CO2インキュベーター サンヨー製 MCO-96-[M230718A07]

  5. 恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A17]

  6. スピンコーター ミカサ製 MS-B100-[M240310A09]

  7. クリーンベンチ 昭和科学 S-1300WV-[M240209A01]

  8. X線分析装置 SII SEA2120L-[M230512A07]

  9. ピラニー真空計 アルバック製 IS02-[M240200A03]

  10. ウェーブフォームモニター テクトロニクス製 1730 [M181122A02]

  11. 超音波洗浄機 ブランソニック製(ヤマト科学)8510J-DTH [M240209A15]

  12. 冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製(東京理化器械)CA-2600-[M220318A11]

  13. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 SC-701

  14. チラー(冷却水循環装置)・EYELA(東京理化機械)・CA-1115

    チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化機械)
    型式:CA-1115 (M200408A04)

  15. 多関節産業ロボット(6軸)三菱電機製 型式RV-12SDC-S300 [M220528A15]

  16. 6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 200iD/7L [M230906A01]

  17. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)
    型式:JEE-400

  18. イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230325A05]

  19. ナノインプリント装置 三井電気精機製 TM-NP04-2型 -[M221226A01]

  20. VUV真空キュア装置(真空紫外光硬化装置)TOSKYトスキー製 型式:UVR-200