1. 恒温槽（乾燥機・オーブン）エスペック製PH-400-[M220904A01]

  2. 電気炉（マッフル炉）ヤマト科学製 FO410-[M230118A01]
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製
    型式：NCP-400 （M210108A04）

  4. チラー（冷却水循環装置）オリオン機械製 RKS752J-MV-00000-[M210320A13]

  5. コンプレッサー（オイルフリー）アネスト岩田製
    SLP-37EBD-S5 [M221201A03]

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA – [M220702A01]
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-500・M200414A05

    スクロールポンプ　アルバック製
    型式：DIS-500
  9. robot

    多関節産業ロボット（6軸）デンソー製 型式：VP-6556-GM-B-CN
  10. ヘリウムコンプレッサー（クライオコンプレッサー）・鈴木商館・C300K

    ヘリウムコンプレッサー　大陽日酸（鈴木商館）
    型式：CCT-CK11003C（C103K）
  11. イオンクリーナー、日本電子（JEOL）

    イオンクリーナー　日本電子製（JEOL）
    型式：JIC-410(ver2)（M190810A07）
  12. 防爆オーブン・ESPEC・SPH-202

    防爆オーブン　ESPEC製（エスペック）
    型式：SPH-202

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