オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  8. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
2026年10月
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