パーツフィーダー

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  10. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K
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