Thickness Monitor

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  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

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  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. スピンドライヤー　コクサン製（国産遠心機）　H-840…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  1. SEM 電子顕微鏡

    SEM 走査型電子顕微鏡（3Dリアルサーフェスビュー顕…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. プレス機　ミカドテクノス製　MKP-5000D-[M231120A24]

  8. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
2024年7月
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