Thickness Monitor

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  10. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
2025年7月
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