Thickness Monitor

  1. 多関節産業ロボット(6軸)三菱電機製 型式RV-12SDC-S300 [M220528…

  2. 6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 200iD/7L [M2309…

  3. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  4. イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230325A05]

  5. ナノインプリント装置 三井電気精機製 TM-NP04-2型 -[M221226A01]

  6. VUV真空キュア装置(真空紫外光硬化装置)TOSKYトスキー製 型式:U…

  7. AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX1000 -[M221125A0…

  8. ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式SPB-DB668

  9. ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式SPB-DB668

  10. スパッタ装置(RFスパッタ)アネルバ製(ANELVA)SPF-430H-[M221028…

  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (M210320A04)

  2. チラー(外部開放系循環装置)・ヤマト科学・品名:クールライン・型式:CLH610

    チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クールライン 型式…

  3. 樹脂吸引輸送装置・松井製作所・JL4-5VC-J

    樹脂ジェットローダー(吸引輸送装置)松井製作所<br>型式:JL4-5VC…

  4. マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622A04]

  5. 超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230531A07]

  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03

  7. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET(M210303A05)

    DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303A05)

  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-500・M200414A05

    スクロールポンプ アルバック製<br>型式:DIS-500

  9. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<br>型式:UB011…

2024年3月
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