Thickness Monitor

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  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年3月
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