Thickness Monitor

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. RF電源　RFPP　RF10S
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
2026年9月
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