Thickness Monitor

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. スピンドライヤー　コクサン製（国産遠心機）　H-840…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  1. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  8. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2024年10月
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