Thickness Monitor

  1. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800
2026年11月
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